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IPV-6000

欧洲杯分析光伏離子注入机已开发出四代系列产品。

 

Ion Solar?, 第一代光伏離子注入设备(2011~2014)

具有质量分析,采用金属托盘传送,能量5-15KeV, 均匀性<5cm2/ma 产能800-1500WPH。

 

iPV-2000第二代光伏離子注入设备(2014~2017)

略去质量分析,采用皮带水平传送硅片,避免硅片在载盘传送中的摩擦损伤。采用固态磷代替磷烷,降低客户成本,能量5-15KeV, 均匀性<5cm2/ma,産能1700~2000WPH。

 

iPV-3000第三代光伏離子注入设备(2017~)

皮带水平传送硅片,兼容固态磷和磷烷系统离子源,改进的大束流离子源,双源结构,可应用于多种使用场景。束流提升40%增加图案化注入掺杂功能,,能量5-15KeV, 均匀性<4cm2/ma,産能>3000WPH。

 

iPV-6000第四代光伏離子注入设备(2019~)

2019年上市,除了具备iPV-3000的特性外,优化了真空系统效率和传送稳定性,提升了离子源引出束流密度,是目前市场上极高产能的光伏離子注入机设备。iPV-6000沿用IPV-3000的双源系统,并可兼容磷烷和固态磷作为掺杂源。能量5-15KeV, 均匀性<4cm2/ma,産能6000WPH。

 


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